Quang phổ Điện tử Auger (AES) là một kỹ thuật phân tích được sử dụng rộng rãi để xác định thành phần nguyên tố của bề mặt rắn. Các ưu điểm chính bao gồm độ nhạy bề mặt cao (0,4 đến 5 nanomet), thu thập dữ liệu nhanh, phát hiện tất cả các nguyên tố nặng hơn heli và độ phân giải không gian cao. Nó đặc biệt được đánh giá cao nhờ độ phân giải không gian cao, lý tưởng để phân tích các chi tiết nhỏ.
Hiệu ứng Auger là một quá trình ba điện tử, một hiện tượng được Pierre Auger phát hiện vào năm 1923. Khi chùm tia điện tử chiếu vào bề mặt mẫu, nó làm bật ra một electron ở lớp vỏ lõi của nguyên tử, tạo ra một lỗ trống. Một electron từ mức năng lượng cao hơn sẽ rơi xuống để lấp đầy lỗ trống này. Năng lượng giải phóng trong quá trình thư giãn này được truyền cho một electron khác ở mức năng lượng cao hơn, và electron này bị bật ra như một điện tử Auger.
Động năng của điện tử Auger là đặc trưng của nguyên tử phát xạ và phụ thuộc vào sự chênh lệch năng lượng giữa các mức năng lượng nguyên tử, chứ không phụ thuộc vào năng lượng của chùm tia tới.
